手套箱旋涂

1          机器功能

1.1      手套箱旋涂设备广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境

1.2     手套箱旋涂设备的主要作用是对O2、H2O、有机气体的清除

   1.3 手套箱旋涂设备具有快速启动、快速切换转速和转速稳定的性能，能够保证胶膜厚度的一致性和均匀性，适用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻的，半导体工艺、制版、及表面涂覆等工艺。